氮在共摻雜氧化鋅中的溶解度可增強(qiáng)400倍
發(fā)布時(shí)間:2018-01-19 10:34 作者:氧化鋅
氧化鋅廠新發(fā)現(xiàn),由于N受主和反應(yīng)施主共摻雜之間的劇烈作用,氮和反應(yīng)施主的共摻雜會(huì)下降其在能帶中的受主能級(jí)方位。DOS(態(tài)密度)峰向價(jià)帶頂?shù)囊苿?dòng)暗示著受主能級(jí)的下降。和作為受主的Li共摻雜或許和作為活性施主的F共摻雜,可以制備低電阻率的P型氧化鋅。
氧化鋅廠對(duì)ZnO中Ga和N溶解度約束的研討標(biāo)明,比較于N摻雜的ZnO,氮在共摻雜ZnO中的溶解度可以增強(qiáng)400倍(by a factor of)。運(yùn)用共摻雜法,Joseph等[463]運(yùn)用帶有等離子源的PLD體系成功制備了所謂的P型氧化鋅薄膜。關(guān)于Ga和N的共摻雜,已然N2O能既能有用按捺氧空位,一同又能引入氮作為受主。Hall 和Seebeck系數(shù)測(cè)量法驗(yàn)證了它的P型導(dǎo)電功用,電阻率為0.5Ωcm,載流子濃度為5×1019 cm?3,和很低的載流子遷移率0.07 cm2 /V s。這么低的載流子遷移率讓我們對(duì)P型導(dǎo)電性發(fā)作懷疑。它也標(biāo)明在共摻雜技術(shù)中,非平衡態(tài)成長進(jìn)程時(shí)必需求低溫。雖然在共摻雜的氧化鋅薄膜中觀察到了P型導(dǎo)電功用,但由于短少表征,例如共摻雜中Ga和N在禁帶中的施主和受主能級(jí)方位,所以P型特征的來歷并不理解。
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